VR视角 工信部本质国产氟化氩光刻机:差别率≤65nm

发布日期:2024-09-16 01:42    点击次数:111

VR视角 工信部本质国产氟化氩光刻机:差别率≤65nm

据微信公众号“工信微报”音讯,近日VR视角,工信部发布了《首台(套)要紧工夫装备本质诳骗提醒目次(2024年版)》。

“工信微报”先容说念,要紧工夫装备是国之重器,事关详细国力和国度安全。中国首台(套)要紧工夫装备是指国内结束要紧工夫梗阻、领有常识产权、尚未赢得暴露阛阓功绩的装备产物,包括整机建树、中枢系统和要害零部件等。

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而不雅察者网注目到,在《首台(套)要紧工夫装备本质诳骗提醒目次(2024年版)》电子专用装备目次下,集成电路建树方面:氟化氩光刻机,光源193纳米,差别率≤65nm,套刻≤8nm。

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